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SEMI M16:2021现行

Specification for Polycrystalline Silicon

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

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基本信息

标准编号： SEMI M16:2021

标准类别：Revision

出版单位：Semiconductor Equipment & Materials Institute

标准页数：0

标准简介

This Specification is intended for use in procurement of polycrystalline silicon for growth of electronic grade monocrystalline silicon ingots.

本标准替代的旧标准

SEMI M16 : 2010(R2015)

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