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DIN EN 62047-1 (2014-05)被替代

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 1: Terms and definitions (IEC 47F/177/CD:2013)

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息

标准编号： DIN EN 62047-1 (2014-05)

发布时间：2014/5/1 0:00:00

标准类别：Draft

出版单位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

标准页数：59

替代本标准的新标准

DIN EN 62047-1 (2016-12)

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