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EN ISO 14644-10 : 2013现行

CLEANROOMS AND ASSOCIATED CONTROLLED ENVIRONMENTS - PART 10: CLASSIFICATION OF SURFACE CLEANLINESS BY CHEMICAL CONCENTRATION (ISO 14644-10:2013)

出版：Comite Europeen de Normalisation

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基本信息

标准编号： EN ISO 14644-10 : 2013

标准类别：Standard

出版单位：Comite Europeen de Normalisation

标准页数：0

标准简介

Describes the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles).

EN ISO 14644-10 : 2013现行

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