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SEMI F117:2021现行

Specification for Dimensions of Sandwich Components for 1.125 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

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基本信息

标准编号： SEMI F117:2021

标准类别：Standard

出版单位：Semiconductor Equipment & Materials Institute

标准页数：0

标准简介

This Standard establishes the physical dimensions of filters, check valves, restrictors, port converters and other components for 1.125 inch type surface mount gas distribution systems.

本标准替代的旧标准

SEMI C88 : 2015

SEMI F117:2021现行

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