DS EN 62047-1:2006被替代
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 1: Terms And Definitions
出版：Danish Standards
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基本信息
标准编号： DS EN 62047-1:2006
发布时间：2006/10/27 0:00:00
标准类别：Standard
出版单位：Danish Standards
标准页数：32
标准简介
Describes the terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.
替代本标准的新标准
等同采用的国际标准
EN 62047-1:2016 - Identical
