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DIN EN ISO 14644-10 (2013-06)现行

Cleanrooms and associated controlled environments Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013)

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息

标准编号： DIN EN ISO 14644-10 (2013-06)

发布时间：2013/6/1 0:00:00

标准类别：Standard

出版单位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

标准页数：40

本标准替代的旧标准

DIN EN ISO 14644-10 (2011-06)

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