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SEMI F118:2021现行

Test Method for Determination of Moisture Dry-Down Characteristics of Gas Delivery Components

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

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基本信息

标准编号： SEMI F118:2021

标准类别：Test Method

出版单位：Semiconductor Equipment & Materials Institute

标准页数：0

标准简介

This Test Method describes the procedure for determination of the moisture dry-down characteristics of components used in gas delivery systems.

本标准替代的旧标准

SEMI C91 : 2015

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