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14/30294910 DC : 0被替代

BS EN 62047-26 ED1.0 - SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 26: DESCRIPTION AND MEASUREMENT METHODS FOR MICRO TRENCH AND NEEDLE STRUCTURES

出版：British Standards Institution

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基本信息

标准编号： 14/30294910 DC : 0

标准类别：Draft

出版单位：British Standards Institution

标准页数：29

标准简介

BS EN 62047-26 Ed1.0.

替代本标准的新标准

BS EN 62047-26 : 2016

14/30294910 DC : 0被替代

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