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NF EN 62047-11:2014现行

Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 11: Test Method For Coefficients Of Linear Thermal Expansion Of Free-Standing Materials For Micro-Electromechanical Systems

出版：Association Francaise de Normalisation

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基本信息

标准编号： NF EN 62047-11:2014

发布时间：2014/3/1 0:00:00

标准类别：Standard

出版单位：Association Francaise de Normalisation

标准页数：0

标准简介

2014 [01/03/2014]2012 PR [01/05/2012]

标准备注

Indice de classement: C96-050-11. PR NF EN 62047-11 May 2012. (05/2012)

本标准替代的旧标准

NF EN 62047-11:2012

NF EN 62047-11:2014现行

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