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EN ISO 14644-9 : 2012现行

CLEANROOMS AND ASSOCIATED CONTROLLED ENVIRONMENTS - PART 9: CLASSIFICATION OF SURFACE CLEANLINESS BY PARTICLE CONCENTRATION (ISO 14644-9:2012)

出版：Comite Europeen de Normalisation

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基本信息

标准编号： EN ISO 14644-9 : 2012

标准类别：Standard

出版单位：Comite Europeen de Normalisation

标准页数：0

标准简介

Describes the classification of cleanliness levels on solid surfaces by particle concentration in cleanrooms and associated controlled environment applications.

EN ISO 14644-9 : 2012现行

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