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ISO/DIS 14644-3(2005)被替代

Cleanrooms And Associated Controlled Environments - Part 3: Test Methods

出版：International Organization for Standardization

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基本信息

标准编号： ISO/DIS 14644-3(2005)

标准类别：Draft

出版单位：International Organization for Standardization

标准页数：0

标准简介

Specifies test methods for designated classification of airborne particulate cleanliness and for characterizing the performance of cleanrooms and clean zones.

替代本标准的新标准

ISO 14644-3:2005

ISO/DIS 14644-3(2005)被替代

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