ONORM EN ISO 14644-14:2017现行
Cleanrooms And Associated Controlled Environments - Part 14: Assessment Of Suitability For Use Of Equipment By Airborne Particle Concentration (Iso 14644-14:2016)
出版：Osterreichisches Normungsinstitut
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基本信息
标准编号： ONORM EN ISO 14644-14:2017
标准类别：Standard
出版单位：Osterreichisches Normungsinstitut
标准页数：29
标准简介
2017 [15/02/2017]
等同采用的国际标准
EN ISO 14644-14:2016 - Identical
