PN EN 62047-17:2015现行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 17: Bulge Test Method For Measuring Mechanical Properties Of Thin Films
出版：Polish Committee for Standardization
专家解读视频
基本信息
标准编号： PN EN 62047-17:2015
标准类别：Standard
出版单位：Polish Committee for Standardization
标准页数：36
标准简介
2015 [07/10/2015]
等同采用的国际标准
EN 62047-17:2015 - Identical
