DIN EN 62047-16 (2015-12)现行
Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films - Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods (iec 62047-16:2015)
出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
专家解读视频
基本信息
标准编号： DIN EN 62047-16 (2015-12)
发布时间：2015/12/1 0:00:00
标准类别：Standard
出版单位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
标准页数：13
标准简介
2015 [01/12/2015]DRAFT 2012 [01/11/2012]
本标准替代的旧标准
等同采用的国际标准
EN 62047-16:2015 - Identical
