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NF EN 62047-6:2009被替代

Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 6: Axial Fatigue Testing Methods Of Thin Film Materials

出版：Association Francaise de Normalisation

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基本信息

标准编号： NF EN 62047-6:2009

发布时间：2009/3/1 0:00:00

标准类别：MiscPublication

出版单位：Association Francaise de Normalisation

标准页数：17

标准简介

2009 PR [01/03/2009]

标准备注

Indice de classement: C96-050-6PR. PR NF EN 62047-6 March 2009. (03/2009)

替代本标准的新标准

NF EN 62047-6:2010

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