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SEMI M17:2010(R2021)现行

Guide for a Universal Wafer Grid

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

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基本信息

标准编号： SEMI M17:2010(R2021)

标准类别：Guide

出版单位：Semiconductor Equipment & Materials Institute

标准页数：0

标准简介

Maximum allowable slip and other non-uniformly distributed defects are frequently specified when procuring polished and epitaxial silicon wafers.

本标准替代的旧标准

SEMI M17 : 2010(R2015)

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