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I.S. EN 62047-26:2016现行

Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices Part 26: Description and Measurement Methods for Micro Trench and Needle Structures

出版：National Standards Authority of Ireland

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基本信息

标准编号： I.S. EN 62047-26:2016

发布时间：2016/5/10 0:00:00

标准类别：Standard

出版单位：National Standards Authority of Ireland

标准页数：70

标准简介

Defines descriptions of trench structure and needle structure in a micrometer scale.

等同采用的国际标准

EN 62047-26:2016 - Identical

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