OVE/ONORM EN 62047-21:2015现行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials (Iec 62047-21:2014)
出版：Osterreichisches Normungsinstitut
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基本信息
标准编号： OVE/ONORM EN 62047-21:2015
发布时间：2015/6/1 0:00:00
标准类别：Standard
出版单位：Osterreichisches Normungsinstitut
标准页数：18
标准简介
2015 [01/06/2015]
等同采用的国际标准
EN 62047-21:2014 - Identical
