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ISO/DIS 14644-6被替代

Cleanrooms and associated controlled environments Part 6: Vocabulary

出版：International Organization for Standardization

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基本信息

标准编号： ISO/DIS 14644-6

标准类别：Draft

出版单位：International Organization for Standardization

标准页数：0

标准简介

Establishes a vocabulary of terms and definitions related to cleanrooms and associated controlled environments.

替代本标准的新标准

ISO 14644-6:2007

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