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11/30231583 DC被替代

Bs En 62047-17 - Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 17: Bulge Test Method For Measuring Mechanical Properties Of Thin Films

出版：British Standards Institution

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基本信息

标准编号： 11/30231583 DC

发布时间：2011/3/8 0:00:00

标准类别：Draft

出版单位：British Standards Institution

标准页数：26

标准简介

DRAFT MAR 2011 [08/03/2011]

标准备注

© British Standards Institution 2013

General notes:
Warning: this draft is not current beyond its expiry date for comments.

替代本标准的新标准

BS EN 62047-17:2015

11/30231583 DC被替代

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