CEI EN 62047-17 Ed. 1 (2016)现行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 17: Bulge Test Method For Measuring Mechanical Properties Of Thin Films
出版：Comitato Elettrotecnico Italiano
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基本信息
标准编号： CEI EN 62047-17 Ed. 1 (2016)
标准类别：Standard
出版单位：Comitato Elettrotecnico Italiano
标准页数：34
标准简介
1ED 2016 [01/01/2016]
标准备注
Classificazione CEI 47-127. (08/2017)
等同采用的国际标准
EN 62047-17:2015 - Identical
