PN EN 62047-16:2015现行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films - Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods
出版：Polish Committee for Standardization
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基本信息
标准编号： PN EN 62047-16:2015
标准类别：Standard
出版单位：Polish Committee for Standardization
标准页数：20
标准简介
2015 [07/10/2015]
等同采用的国际标准
EN 62047-16:2015 - Identical
