
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013)
出版:German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息
标准编号: DIN EN ISO 14644-10 : 2013
发布时间:2013/6/1 0:00:00
标准类别:Standard
出版单位:German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
标准页数:37
等同采用的国际标准
ISO 14644-10 : 2013 - Identical
EN ISO 14644-10 : 2013 - Identical
PREN ISO 14644-10 : DRAFT 2011 - Identical