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IEC 60204-33 : 1.0现行

SAFETY OF MACHINERY - ELECTRICAL EQUIPMENT OF MACHINES - PART 33: REQUIREMENTS FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT

出版：International Electrotechnical Committee

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基本信息

标准编号： IEC 60204-33 : 1.0

发布时间：2009/12/10 0:00:00

标准类别：Standard

出版单位：International Electrotechnical Committee

标准页数：252

标准简介

Pertains to electrical and electronic equipment associated with semiconductor fabrication equipment for the manufacture, measurement, assembly, and test of semiconductors.

等同采用的国际标准

PN EN 60204-33 : 2011 - Identical

NEN EN IEC 60204-33 : 2011 - Identical

DIN EN 60204-33 : 2011 - Identical

NBN EN 60204-33 : 2011 - Identical

IS 16504 : Part 33 : 2019 - Identical

NF EN 60204-33 : 2012 - Identical

BS EN 60204-33 : 2011 - Identical

EN 60204-33 : 2011 - Identical