NF EN 62047-21:2014现行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials
出版：Association Francaise de Normalisation
专家解读视频
基本信息
标准编号： NF EN 62047-21:2014
发布时间：2014/12/1 0:00:00
标准类别：Standard
出版单位：Association Francaise de Normalisation
标准页数：0
标准简介
2014 [01/12/2014]2013 PR [01/06/2013]
标准备注
Indice de classement: C96-050-21. PR NF EN 62047-21 June 2013. (07/2013)
本标准替代的旧标准
等同采用的国际标准
EN 62047-21:2014 - Identical
