NF EN 62047-16:2015现行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films - Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods
出版：Association Francaise de Normalisation
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基本信息
标准编号： NF EN 62047-16:2015
标准类别：Standard
出版单位：Association Francaise de Normalisation
标准页数：0
标准简介
2015 [01/11/2015]
标准备注
Indice de classement: C96-050-16. (11/2015)
等同采用的国际标准
EN 62047-16:2015 - Identical
