SS EN 62047-16 Ed. 1 (2016)现行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films - Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods
出版：Standardiserings-Kommissionen I Sverige
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基本信息
标准编号： SS EN 62047-16 Ed. 1 (2016)
标准类别：Standard
出版单位：Standardiserings-Kommissionen I Sverige
标准页数：14
标准简介
1ED 2016 [13/01/2016]
等同采用的国际标准
EN 62047-16:2015 - Identical
