DIN IEC 60204-33 : DRAFT 2006被替代
SAFETY OF MACHINERY - ELECTRICAL EQUIPMENT OF MACHINES - PART 33: REQUIREMENTS FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT
出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
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基本信息
标准编号： DIN IEC 60204-33 : DRAFT 2006
标准类别：Draft
出版单位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
标准页数：0
标准简介
Dieser Teil von IEC 60204 gilt für die Anwendung von elektrischer und elektronischer Ausrüstung für die Halbleiterfertigung (Herstellung, Messung, Montage und Prüfung). Er gilt für die elekt. Ausrüstung oder Teile der elekt.
替代本标准的新标准
等同采用的国际标准
VDE 0113-33 : 2011 - Corresponds
