NEN EN ISO 14644-9:2008被替代
Cleanrooms And Associated Controlled Environments - Part 9: Classification Of Surface Particle Cleanliness
出版：Nederlands Normalisatie Instituut
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基本信息
标准编号： NEN EN ISO 14644-9:2008
发布时间：2008/8/1 0:00:00
标准类别：Draft
出版单位：Nederlands Normalisatie Instituut
标准页数：35
标准简介
Specifies the classification of the particle contamination levels on solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environment applications.
替代本标准的新标准
等同采用的国际标准
ISO/DIS 14644-9 - Identical
