SS EN 62047-21 Ed. 1 (2014)现行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials
出版：Standardiserings-Kommissionen I Sverige
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基本信息
标准编号： SS EN 62047-21 Ed. 1 (2014)
发布时间：2014/12/18 0:00:00
标准类别：Standard
出版单位：Standardiserings-Kommissionen I Sverige
标准页数：16
标准简介
1ED 2014 [18/12/2014]
等同采用的国际标准
EN 62047-21:2014 - Identical
