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14/30259233 DC被替代

Bs En 62047-16 Ed 1.0 - Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films; Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods

出版：British Standards Institution

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基本信息

标准编号： 14/30259233 DC

发布时间：2014/2/11 0:00:00

标准类别：Draft

出版单位：British Standards Institution

标准页数：13

标准简介

DRAFT FEB 2014 [11/02/2014]

替代本标准的新标准

BS EN 62047-16:2015

14/30259233 DC被替代

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