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I.S. EN ISO 14644-9:2012现行

Cleanrooms and Associated Controlled Environments Part 9: Classification of Surface Cleanliness by Particle Concentration (iso 14644-9:2012)

出版：National Standards Authority of Ireland

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基本信息

标准编号： I.S. EN ISO 14644-9:2012

发布时间：2012/8/22 0:00:00

标准类别：Standard

出版单位：National Standards Authority of Ireland

标准页数：41

标准简介

Describes the classification of cleanliness levels on solid surfaces by particle concentration in cleanrooms and associated controlled environment applications.

等同采用的国际标准

EN ISO 14644-9 : 2012 - Identical

ISO 14644-9 : 2012 - Identical

I.S. EN ISO 14644-9:2012现行

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