CEI EN 62047-16 Ed. 1 (2016)现行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films - Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods
出版：Comitato Elettrotecnico Italiano
专家解读视频
基本信息
标准编号： CEI EN 62047-16 Ed. 1 (2016)
标准类别：Standard
出版单位：Comitato Elettrotecnico Italiano
标准页数：18
标准简介
1ED 2016 [01/01/2016]
标准备注
Classificazione CEI 47-126. (08/2017)
等同采用的国际标准
EN 62047-16:2015 - Identical
