PN EN ISO 14644-5:2005现行
Cleanrooms And Associated Controlled Environments - Part 5: Operations
出版：Polish Committee for Standardization
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基本信息
标准编号： PN EN ISO 14644-5:2005
发布时间：2005/4/15 0:00:00
标准类别：Standard
出版单位：Polish Committee for Standardization
标准页数：46
标准简介
2005 [15/04/2005]
等同采用的国际标准
ISO 14644-5:2004 - Identical
