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NEN EN IEC 62047-1:2006被替代

Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 1: Terms And Definitions

出版：Nederlands Normalisatie Instituut

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基本信息

标准编号： NEN EN IEC 62047-1:2006

发布时间：2006/7/1 0:00:00

标准类别：Standard

出版单位：Nederlands Normalisatie Instituut

标准页数：49

标准简介

Defines terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.

替代本标准的新标准

NEN EN IEC 62047-1:2016

等同采用的国际标准

EN 62047-1:2016 - Identical

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