当前位置： 首页 > 标准详情页

SEMI MF1535 : 2015现行

TEST METHOD FOR CARRIER RECOMBINATION LIFETIME IN ELECTRONIC-GRADE SILICON WAFERS BY NONCONTACT MEASUREMENT OF PHOTOCONDUCTIVITY DECAY BY MICROWAVE REFLECTANCE

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

获取原文如何获取原文？问客服获取原文，即可享受本标准状态变更提醒服务！

专家解读视频

基本信息

标准编号： SEMI MF1535 : 2015

标准类别：Standard

出版单位：Semiconductor Equipment & Materials Institute

标准页数：0

标准简介

Describes test method for carrier recombination lifetime in electronic-grade silicon wafers by noncontact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance.

SEMI MF1535 : 2015现行

申请获取原文权限