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真空技术溅射离子泵现行

Vacuum technology － Sputter-ion pumps

标准号：JB/T 4081-2011

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基本信息

标准号：JB/T 4081-2011

发布时间：2011-12-20

实施时间：2012-04-01

首发日期：

出版单位：机械工业出版社查看详情>

起草人：

出版机构：机械工业出版社

标准分类：真空技术与设备

ICS分类：真空技术

起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标委会

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

标准简介

本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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