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电子工业用气体 八氟丙烷
电子工业用气体 八氟丙烷 现行
Gas for electronic industry—Perfluoropropane
标准号：GB/T 31986-2015
基本信息
标准号：GB/T 31986-2015
发布时间：2015-09-11
实施时间：2016-05-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：林宇巍、陈熔、史婉君、方路、廖恒易、金向华、孙猛、方华、孙福楠、方正、崔学文、周鹏云
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 工业气体与化学气体
ICS分类：工业气体
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草单位：:国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司等
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。分子式:C3F8。相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。
标准摘要
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本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、四川中测标物科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人:林宇巍、陈熔、史婉君、方路、廖恒易、金向华、孙猛、方华、孙福楠、方正、崔学文、周鹏云。 |
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