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电子工业用气体六氟化硫已作废

Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride

标准号：GB/T 18867-2002

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基本信息

标准号：GB/T 18867-2002

发布时间：2002-10-15

实施时间：2003-04-01

首发日期：2002-10-15

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：杜伟华、张奎、贺国武、张军、何道善

作废日期：2015-07-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：原国家石油和化学工业局

起草单位：中核红华特种气体股份有限公司

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。

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