硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 现行
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combinationof the deep etching and bonding process
标准号：GB/T 32816-2016
基本信息
标准号：GB/T 32816-2016
发布时间：2016-08-29
实施时间：2017-03-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：张大成、杨芳、李海斌、王玮、何军、黄贤、刘冲、刘伟、邹赫麟、田大宇、姜博岩
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 微电路综合
ICS分类：集成电路、微电子学
提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。
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