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硅外延片已作废

Silicon epitaxial wafers

标准号：GB/T 14139-1993

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基本信息

标准号：GB/T 14139-1993

发布时间：1993-02-06

实施时间：1993-10-01

首发日期：1993-02-06

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2010-06-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：半金属

ICS分类： 29.040.30

起草单位：上海第二冶炼厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。

替代情况

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引用标准

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