钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法 现行
Nano Sub-micron scale film on steel - Quantitative depth profile analysis - Glow discharge atomic emission spectrometry
标准号：GB/T 22462-2008
基本信息
标准号：GB/T 22462-2008
发布时间：2008-10-30
实施时间：2009-06-01
首发日期：2008-10-30
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：张毅、陈英颖、沈电洪、刘芬、何晓蕾、邬君飞、栾燕
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 基础标准与通用方法
ICS分类：光学和光学测量
提出单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：宝山钢铁股份有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院化学研究所、冶金工业信息标准研究院
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
标准简介
本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜（金属镀膜和氧化膜）中膜厚、镀层质量（单位面积）和薄膜中的元素深度分布。本方法适用于测定3nm～1000nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括：铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。
标准摘要
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本标准的附录A、附录B均为资料性附录,附录C 为规范性附录。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)归口。 本标准负责起草单位:宝山钢铁股份有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院化学研究所、冶金工业信息标准研究院。 本标准主要起草人:张毅、陈英颖、沈电洪、刘芬、何晓蕾、邬君飞、栾燕。 |
标准目录
| 前言Ⅲ 1 范围1 2 规范性引用文件1 3 术语和定义1 4 原理1 5 仪器2 5.1 概述2 5.2 仪器性能要求2 6 样品制备3 7 分析步骤3 7.1 谱线的选择3 7.2 优化辉光放电原子发射光谱仪的放电参数3 7.3 工作曲线5 7.4 工作曲线的确认7 7.5 漂移校正8 7.6 样品分析8 8 分析结果的表示8 8.1 定量深度剖析的表示8 8.2 膜厚和镀层质量(单位面积)的测定9 9 精密度9 10 试验报告9 附录A (资料性附录) 推荐的元素特征谱线波长10 附录B (资料性附录) 常见的氧化物密度11 附录C (规范性附录) 共同实验附加资料12 |
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