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光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则现行

Guidelines for photomask defect classification and size definition

标准号：GB/T 16880-1997

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基本信息

标准号：GB/T 16880-1997

发布时间：1997-06-20

实施时间：1998-03-01

首发日期：1997-06-20

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

出版机构：中国标准出版社

标准分类：加工专用设备

ICS分类：电子元件综合

起草单位：中国科学院微电子中心

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。

替代情况

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引用标准

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