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电子工业用气体氯化氢已作废

Gases for electronic industry. Hydrogen chloride

标准号：GB/T 14602-1993

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基本信息

标准号：GB/T 14602-1993

发布时间：1993-08-26

实施时间：1994-07-01

首发日期：1993-08-26

起草人：

作废日期：2015-07-01

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

起草单位：化工部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。

替代情况

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