硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 现行
Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
标准号：YS/T 1060-2015
基本信息
标准号：YS/T 1060-2015
发布时间：2015-04-30
实施时间：2015-10-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：刘新军、刘英杰、郑华荣、柯尊斌、赵建为、孔令群、伍永胜、张云晖、杨红燕
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类：金属材料化学分析
提出单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位：中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
主管部门：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
标准简介
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定范围下限为0.002%。
标准摘要
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位:中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司。 本标准主要起草人:刘新军、刘英杰、郑华荣、柯尊斌、赵建为、孔令群、伍永胜、张云晖、杨红燕。 |
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