
基本信息
标准号:YS/T 43-2011
发布时间:2011-12-20
实施时间:2012-07-01
首发日期:
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:杨卫东、程高明、邹同贵、王飞、廖敏
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 半金属
ICS分类:半导体材料
起草单位:峨嵋半导体材料厂、峨眉山嘉美高纯材料有限公司
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
主管部门:全国有色金属标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了高纯砷的分类和标记、要求、试验方法、检验规则、产品标识、包装、运输、贮存等。本标准适用于以工业砷为原料,经升华、氯化、精馏、氢还原等加工提纯后制成的纯度不小于99.999%、99.9999%、99.99999%的高纯砷。产品主要用于制造砷化镓等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体、外延源以及半导体掺杂剂等。
标准摘要
本标准代替YS/T43—1992《高纯砷》。 本标准是对YS/T43—1992《高纯砷》的修订,本标准与YS/T43—1992相比,主要有如下变动: ———产品分类中增加了一个牌号As-07,检测杂质包括镁、铬、镍、铜、锌、锑、铅、铋、钠、钾、铝、银、钙、铁等14个元素; ———As-05牌号化学成分增加钠、钾、铋3个杂质元素,检测元素量由13个增加到16个; ———As-06牌号化学成分因极谱法检出限的局限,取消硫、硒2个杂质元素,增加钠、钾、铋3个杂质元素,检测杂质元素由13个增加到14个; ———修订了原标准试验方法。采用电感耦合等离子质谱法测定砷中金属杂质含量,As-05牌号硫、硒杂质仍保留原极谱法测定; ———杂质含量的浓度单位采用国际上惯用的1×10-7%(ppbwt)进行表述; ———产品包装、运输、贮存等规定作了部分调整和补充,并要求供方提供产品的安全技术说明书; ———增加了订货合同内容。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本标准负责起草单位:峨嵋半导体材料厂、峨眉山嘉美高纯材料有限公司。 本标准主要起草人:杨卫东、程高明、邹同贵、王飞、廖敏。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: ———YS/T43—1992。 |
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