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电子工业用气体 5N氯化氢已作废

Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride

标准号：GB/T 24469-2009

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基本信息

标准号：GB/T 24469-2009

发布时间：2009-10-15

实施时间：2009-12-01

首发日期：2009-10-15

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2015-07-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

起草单位：北京华宇同方化工科技开发有限公司、光明化工研究设计院、信息产业部标准化四所

归口单位：469-203 全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

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