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MEMS高g值加速度传感器性能试验方法现行

Test methods of the performance for MEMS high g accelerometer

标准号：GB/T 33929-2017

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基本信息

标准号：GB/T 33929-2017

发布时间：2017-07-12

实施时间：2018-02-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：石云波、程红兵、唐军、李海斌、马宗敏、朱悦

出版机构：中国标准出版社

标准分类：微电路综合

ICS分类：集成电路、微电子学

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

起草单位：中北大学、中机生产力促进中心

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

标准简介

本标准规定了MEMS高g值加速度传感器的电气性能和基本性能的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验项目及方法。本标准适用于量程在1×104g～2×105g范围的MEMS高g值加速度传感器（以下简称加速度传感器）性能试验。

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