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硅压阻式压力敏感芯片现行

Silicon piezoresistive pressure-sensitive chip

标准号：GB/T 28856-2012

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基本信息

标准号：GB/T 28856-2012

发布时间：2012-11-05

实施时间：2013-02-15

首发日期：2012-11-05

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：唐慧、刘沁、徐秋玲、于振毅、张治国等

出版机构：中国标准出版社

标准分类：仪器、仪表用材料和元件

ICS分类：力、重力和压力的测量

提出单位：中国机械工业联合会

起草单位：沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、昆山双桥传感器测控技术有限公司等

归口单位：中国机械工业联合会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：中国机械工业联合会

标准简介

本标准规定了硅压阻式压力敏感芯片术语和定义、分类、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于硅压阻式压力敏感芯片。

标准摘要

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由中国机械工业联合会归口。
本标准起草单位:沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、昆山双桥传感器测控技术有限公司、大连理工大学、中国电子科技集团公司第四十九研究所、北京鑫诺金传感技术有限公司、北京瑞普恩德斯豪斯仪表有限公司、南京沃天科技有限公司、中国仪器仪表协会传感器分会、中国仪器仪表学会仪表元件分会。
本标准主要起草人:唐慧、刘沁、徐秋玲、于振毅、张治国、徐淑霞、殷波、王冰、陈信琦、黄正兴、王文襄、郭宏、宁宁、李延夫、高峰。

标准目录

前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语与定义 1
4 分类 1
4.1 电隔离类型 1
4.2 敏感芯片参考感压腔类型 2
5 基本参数 2
5.1 测量范围 2
5.2 工作介质 2
5.3 工作温度范围 2
5.4 激励电源 2
6 要求 2
6.1 总则 2
6.2 基本性能要求 2
7 试验方法 5
7.1 环境条件 5
7.2 电气连接及外观 5
7.3 敏感电阻 6
7.4 漏电流 6
7.5 击穿电压 6
7.6 隔离电压 7
7.7 零点失调电压 7
7.8 常压失调电压 7
7.9 静态性能 7
7.10 稳定性 8
8 检验规则 8
8.1 检验分类 8
8.2 出厂检验 8
8.3 型式检验 9
9 标志、包装、运输及贮存 10
9.1 标志 10
9.2 包装 10
9.3 运输 10
9.4 贮存 10
附录A (规范性附录) 传感器性能指标的计算方法 11
A.1 实际校准特性 11
A.2 最小二乘法直线方程 11
A.3 满量程输出(YFS) 12
A.4 非线性(ξL) 12
A.5 迟滞(ξH) 12
A.6 重复性(ξR) 12
A.7 准确度(ξ) 13
A.8 零点漂移(dz) 13
A.9 热零点漂移(α) 14
A.10 热满量程输出漂移(β) 14

替代情况

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引用标准

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采标情况

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