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蓝宝石晶锭应力测试方法

Test method for stress of monocrystalline sapphire ingot
标准号:GB/T 31093-2014
基本信息
标准号:GB/T 31093-2014
发布时间:2014-12-22
实施时间:2015-09-01
首发日期:
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:刘逸枫、魏明德、徐养毅、杭寅、肖宗杰
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 金属力学性能试验方法
ICS分类:金属材料力学试验
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)
起草单位:协鑫光电科技(江苏)有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法。本标准适用于经过加工后直径为50.8mm~200mm 的c向蓝宝石晶锭的应力测试,其他尺寸蓝宝石晶锭(以下简称晶锭)的应力测试可参照使用。
标准摘要
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本标准起草单位:协鑫光电科技(江苏)有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。 本标准主要起草人:刘逸枫、魏明德、徐养毅、杭寅、肖宗杰。 |
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